Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Москва
Советское радио
1978
|
| Серии: | Массовая библиотека инженера "Электроника"
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог НБ ТГУ |
Internet
Перейти в каталог НБ ТГУНаучная библиотека ТГУ: Книгохранилище
| Шифр: |
1-318415 1-320252 1-324491к |
|---|---|
| В каталоге библиотеки Зарезервировать | |
| В каталоге библиотеки Зарезервировать | |
| В каталоге библиотеки Зарезервировать |