Разработка композиции для фототравления оксида кремния
| Опубликовано в: : | Полифункциональные наноматериалы и нанотехнологии. Т. 1 Т. 1. С. 98-100 |
|---|---|
| Главный автор: | |
| Формат: | Статья в сборнике |
| Язык: | Russian |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог НБ ТГУ |