Примерная программа учебной дисциплины "Плазменные технологии в наноэлектронике"

Bibliographic Details
Other Authors:	Голишников, Александр Анатольевич (Compiler), Кузнецова, Е. Г. (Editor), Путря, Михаил Георгиевич (Compiler)
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Москва МИЭТ 2011
Series:	Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника"
Subjects:	учебные программы наноэлектроника плазменные технологии плазменное травление плазменное осаждение ионно-плазменное легирование интегральные схемы сверхбольшие интегральные схемы кремниевые
Online Access:	Перейти в каталог НБ ТГУ

Holdings details from Научная библиотека ТГУ: Книгохранилище
Call Number:	1-998695к
	Available Place a Hold

Similar Items