|
|
|
|
| LEADER |
02415nam a2200397 i 4500 |
| 001 |
vtls000416926 |
| 003 |
RU-ToGU |
| 005 |
20210922034259.0 |
| 008 |
120830s2011 ru a b 000 0 rus d |
| 035 |
|
|
|a to000416926
|
| 039 |
|
9 |
|a 201208300555
|c 201112201707
|d cat31
|c 201111300715
|d cat20
|c 201111281242
|d cat33
|y 201111281241
|z Александр Эльверович Гилязов
|
| 040 |
|
|
|a RU-ToGU
|b rus
|c RU-ToGU
|
| 080 |
|
|
|a 621.38.049.77-022.532:621.793.74(073.8)
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Примерная программа учебной дисциплины "Плазменные технологии в наноэлектронике"
|c [сост.: М. Г. Путря, А. А. Голишников ; ред. Е. Г. Кузнецова] ; Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т)
|
| 260 |
|
|
|a Москва
|b МИЭТ
|c 2011
|9 710655
|
| 300 |
|
|
|a 43 с.
|b табл.
|
| 490 |
1 |
0 |
|a Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника"
|
| 500 |
|
|
|a Сост. указ. на обороте тит. л.
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: с. 13-14, 42
|
| 653 |
|
|
|a учебные программы
|
| 653 |
|
|
|a наноэлектроника
|
| 653 |
|
|
|a плазменные технологии
|
| 653 |
|
|
|a плазменное травление
|
| 653 |
|
|
|a плазменное осаждение
|
| 653 |
|
|
|a ионно-плазменное легирование
|
| 653 |
|
|
|a интегральные схемы сверхбольшие
|
| 653 |
|
|
|a интегральные схемы кремниевые
|
| 700 |
1 |
|
|a Голишников, Александр Анатольевич
|4 com
|9 345400
|
| 700 |
1 |
|
|a Кузнецова, Е. Г.
|4 edt
|9 189862
|
| 700 |
1 |
|
|a Путря, Михаил Георгиевич
|4 com
|9 345401
|
| 830 |
|
|
|a Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника"
|9 189863
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|h 621.3
|i У912
|n ru
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог НБ ТГУ
|u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=258924
|
| 908 |
|
|
|a учебник
|
| 999 |
|
|
|c 258924
|d 258924
|
| 952 |
|
|
|0 0
|1 0
|4 0
|6 1998695К
|7 0
|9 456110
|a RU-ToGU
|b RU-ToGU
|c 10024
|d 2021-04-04
|g 200.00
|l 0
|o 1-998695к
|p 13820000792306
|r 2022-10-25
|w 2021-04-04
|y 1
|
