Компьютерное моделирование движения разориентированных ступеней при эпитаксии Si/Si(001)
Published in: | Физика твердого тела : материалы IX Российской научной студенческой конференции, 12-14 мая 2004 г. С. 106-107 |
---|---|
Main Author: | |
Format: | Book Chapter |
Language: | Russian |
Subjects: | |
Online Access: | Перейти в каталог НБ ТГУ |