Электронно-микроскопическое исследование медных пленок, нанесенных на кремниевые подложки методом низкотемпературного химического осаждения из паровой фазы
| Published in: | Физика твердого тела : материалы IX Российской научной студенческой конференции, 12-14 мая 2004 г. С. 107-109 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , |
| Format: | Book Chapter |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог НБ ТГУ |