Формирование нанокристаллической структуры и ее влияние на механические свойства тонкопленочных покрытий TiN, синтезированных из плазмы дуговых разрядов низкого давления
| Published in: | Физика твердого тела : материалы IX Российской научной студенческой конференции, 12-14 мая 2004 г. С. 27-29 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Format: | Book Chapter |
| Language: | Russian |
| Subjects: |