Учебное пособие по дисциплине "Современные проблемы технологии наноэлектроники" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"]

Bibliographic Details
Main Author:	Королев, Михаил Александрович
Other Authors:	Красюков, Антон Юрьевич, Поломошнов, Сергей Александрович
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Москва МИЭТ 2011
Series:	Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника"
Subjects:	учебные пособия для вузов наноэлектроника МОП-транзисторы наноразмерные интегральные микросхемы наноразмерные кремниевые транзисторы биполярные изопланарные планарная технология диэлектрики подзатворные МОП-структуры двуокись кремния окислы подзатворные нитрирование термическое МОП-транзисторы субмикронные МОП-транзисторы микроминиатюризация МОП-транзисторов поликремниевые затворы силицидные затворы интегральные микросхемы наноразмерные, металлизация технология МОП-транзисторов наноразмерных
Online Access:	Перейти в каталог НБ ТГУ

Holdings details from Научная библиотека ТГУ: Книгохранилище
Call Number:	1-998726к
	Available Place a Hold

Similar Items