Численное исследование влияния технологических параметров на режимы синтеза покрытия на подложке при инициировании реакции движущимся источником энергии
Published in: | Фундаментальные и прикладные проблемы современной механики : материалы VI Всероссийской научной конференции, посвященной 130-летию Томского государственного университета и 40-летию НИИ прикладной математики и механики Томского государственного университета, Томск, 30 сентября-2 октября 2008 г. С. 470-471 |
---|---|
Main Author: | |
Other Authors: | |
Format: | Book Chapter |
Language: | Russian |
Subjects: |