Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях [учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"]

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях [учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"]

Библиографическая информация
Главный автор:	Галперин, Вячеслав Александрович
Другие авторы:	Данилкин, Евгений Владимирович, Мочалов, Алексей Иванович
Формат:	Книга
Язык:	Russian
Публикация:	Москва БИНОМ. Лаборатория знаний 2010
Серии:	Нанотехнологии
Предметы:	Интегральные схемы > Производство > Плазмохимические методы интегральные микротехнологии наноэлектроника, технологические процессы микроэлектроника, технологические процессы интегральные схемы, травление вакуумно-плазменное наносистемы, травление вакуумно-плазменное подложки, травление вакуумно-плазменное травление вакуумно-плазменное, методы травление ионно-плазменное, методы контроля кремний, травление плазмохимическое интегральные системы ультрабольшие, травление вакуумно-плазменное эмиттеры кремниевые, регулирование профилей травлением вакуумно-плазменным микрозеркала, изготовление травлением вакуумно-плазменным лазеры, изготовление травлением вакуумно-плазменным
Online-ссылка:	Перейти в каталог НБ ТГУ

Internet

Перейти в каталог НБ ТГУ

Научная библиотека ТГУ: Абонемент. Депозитарий

Подробно о фондах из Научная библиотека ТГУ: Абонемент. Депозитарий
Шифр:	62 Г167
	В каталоге библиотеки Зарезервировать
	В каталоге библиотеки Зарезервировать

Научная библиотека ТГУ: Книгохранилище

Подробно о фондах из Научная библиотека ТГУ: Книгохранилище
Шифр:	1-995000к 1-995001
	В каталоге библиотеки Зарезервировать
	В каталоге библиотеки Зарезервировать