|
|
|
|
| LEADER |
03939cam a2200529 i 4500 |
| 001 |
vtls000401289 |
| 003 |
RU-ToGU |
| 005 |
20210922044949.0 |
| 008 |
120830s2010 ru a b 000 0 rus|d |
| 020 |
|
|
|a 9785996300327
|
| 035 |
|
|
|a 004745939
|
| 039 |
|
9 |
|a 201208300328
|c 201106092007
|d cat31
|c 201106021348
|d cat02
|c 201105050917
|d acqs01
|y 201102250852
|z Александр Эльверович Гилязов
|
| 040 |
|
|
|a RuMoRKP
|b rus
|e rcr
|d RuMoRGB
|d RU-ToGU
|
| 041 |
0 |
|
|a rus
|
| 080 |
|
|
|a 621.382.049.776.42-022.532:620.183.2:533.924(075.8)
|
| 084 |
|
|
|a З844.15-060.14,0
|2 rubbk
|
| 100 |
1 |
|
|a Галперин, Вячеслав Александрович
|9 367424
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях
|b [учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"]
|c В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. С. П. Тимошенкова
|
| 260 |
|
|
|a Москва
|b БИНОМ. Лаборатория знаний
|c 2010
|9 703383
|
| 300 |
|
|
|a 283 с.
|b ил., табл.
|c 22 см
|
| 490 |
1 |
0 |
|a Нанотехнологии
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: с. 275-280
|
| 650 |
|
7 |
|a Интегральные схемы
|x Производство
|x Плазмохимические методы
|2 nlr_sh
|9 367425
|
| 653 |
|
|
|a интегральные микротехнологии
|
| 653 |
|
|
|a наноэлектроника, технологические процессы
|
| 653 |
|
|
|a микроэлектроника, технологические процессы
|
| 653 |
|
|
|a интегральные схемы, травление вакуумно-плазменное
|
| 653 |
|
|
|a наносистемы, травление вакуумно-плазменное
|
| 653 |
|
|
|a подложки, травление вакуумно-плазменное
|
| 653 |
|
|
|a травление вакуумно-плазменное, методы
|
| 653 |
|
|
|a травление ионно-плазменное, методы контроля
|
| 653 |
|
|
|a кремний, травление плазмохимическое
|
| 653 |
|
|
|a интегральные системы ультрабольшие, травление вакуумно-плазменное
|
| 653 |
|
|
|a эмиттеры кремниевые, регулирование профилей травлением вакуумно-плазменным
|
| 653 |
|
|
|a микрозеркала, изготовление травлением вакуумно-плазменным
|
| 653 |
|
|
|a лазеры, изготовление травлением вакуумно-плазменным
|
| 700 |
1 |
|
|a Данилкин, Евгений Владимирович
|9 367426
|
| 700 |
1 |
|
|a Мочалов, Алексей Иванович
|9 367427
|
| 830 |
|
|
|a Нанотехнологии
|9 83671
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|h 621.3
|i Г167
|n ru
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог НБ ТГУ
|u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=290421
|
| 908 |
|
|
|a учебник
|
| 999 |
|
|
|c 290421
|d 290421
|
| 952 |
|
|
|0 0
|1 0
|4 0
|6 62_Г167
|7 0
|9 512505
|a RU-ToGU
|b RU-ToGU
|c 10023
|d 2021-04-04
|g 330.00
|l 0
|o 62 Г167
|p 13820000768142
|r 2021-04-04
|t 1
|w 2021-04-04
|y 5
|
| 952 |
|
|
|0 0
|1 0
|4 0
|6 62_Г167
|7 0
|9 512506
|a RU-ToGU
|b RU-ToGU
|c 10023
|d 2021-04-04
|g 330.00
|l 0
|o 62 Г167
|p 13820000768143
|r 2021-04-04
|t 2
|w 2021-04-04
|y 5
|
| 952 |
|
|
|0 0
|1 0
|4 0
|6 1995000К
|7 0
|9 512507
|a RU-ToGU
|b RU-ToGU
|c 10024
|d 2021-04-04
|g 330.00
|l 0
|o 1-995000к
|p 13820000768144
|r 2022-10-10
|t 1
|w 2021-04-04
|y 1
|
| 952 |
|
|
|0 0
|1 0
|4 0
|6 1995001
|7 0
|9 512508
|a RU-ToGU
|b RU-ToGU
|c 10024
|d 2021-04-04
|g 330.00
|l 0
|o 1-995001
|p 13820000768145
|r 2022-10-10
|t 2
|w 2021-04-04
|y 4
|
