Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях [учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"]

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях [учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"]

Bibliographic Details
Main Author:	Галперин, Вячеслав Александрович
Other Authors:	Данилкин, Евгений Владимирович, Мочалов, Алексей Иванович
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Москва БИНОМ. Лаборатория знаний 2010
Series:	Нанотехнологии
Subjects:	Интегральные схемы > Производство > Плазмохимические методы интегральные микротехнологии наноэлектроника, технологические процессы микроэлектроника, технологические процессы интегральные схемы, травление вакуумно-плазменное наносистемы, травление вакуумно-плазменное подложки, травление вакуумно-плазменное травление вакуумно-плазменное, методы травление ионно-плазменное, методы контроля кремний, травление плазмохимическое интегральные системы ультрабольшие, травление вакуумно-плазменное эмиттеры кремниевые, регулирование профилей травлением вакуумно-плазменным микрозеркала, изготовление травлением вакуумно-плазменным лазеры, изготовление травлением вакуумно-плазменным
Online Access:	Перейти в каталог НБ ТГУ

Internet

Перейти в каталог НБ ТГУ

Научная библиотека ТГУ: Абонемент. Депозитарий

Holdings details from Научная библиотека ТГУ: Абонемент. Депозитарий
Call Number:	62 Г167
	Available Place a Hold
	Available Place a Hold

Научная библиотека ТГУ: Книгохранилище

Holdings details from Научная библиотека ТГУ: Книгохранилище
Call Number:	1-995000к 1-995001
	Available Place a Hold
	Available Place a Hold