Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях [учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"]
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва
БИНОМ. Лаборатория знаний
2010
|
| Series: | Нанотехнологии
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог НБ ТГУ |