Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии

Библиографическая информация
Главный автор:	Берлин, Евгений Владимирович
Другие авторы:	Сейдман, Лев Александрович
Формат:	Книга
Язык:	Russian
Публикация:	Москва Техносфера 2010
Серии:	Мир материалов и технологий
Предметы:	справочные руководства тонкопленочные технологии вакуумные плазмохимические процессы электрический пробой катоды магнетронов распыление магнетронное реактивное ионно- плазменные процессы. твердые покрытия тройные химические соединения сораспыление неоднородные магнитные поля. неравномерное нанесение пленки управление процессами распыления структура пленок. управление структурой пленок гистерезисные явления математическое моделирование процессов реактивного распыления вакуумные напылительные установки Caroline D12 A ТСП- источники плазмы установки плазмохимического травления
Online-ссылка:	Перейти в каталог НБ ТГУ

Похожие документы

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
по: Берлин, Евгений Владимирович
Публикация: (2014)

Влияние неравномерности толщины поверхностной диэлектрической пленки на распыление катода в тлеющем разряде
по: Бондаренко, Геннадий Германович 1945-

Наноструктурные нитридные покрытия, синтезированные дуговым распылением композиционных катодов системы Ti-Cu
по: Гурских, Алексей Валерьевич

Формирование волокнистых материалов методом пневматического распыления полимеров, находящихся в вязкотекучем состоянии

Введение в технологию материалов микроэлектроники. В 3 частях. Часть 3. Эпитаксиальный рост учебник для вузов
по: Александрова О. А.
Публикация: (2023)

HVPE growth of corundum-structured α-Ga2O3 on sapphire substrates with α-Cr2O3 buffer layer

О новых достижениях предприятий стекольной промышленности
по: Осипов, В. И.

Исследования физико-химических процессов генерации и гибели частиц в плазме ВЧ разряда в планарном реакторе плазмохимического травления промышленного типа Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.27.01
по: Пашков, Владимир Юрьевич
Публикация: (1996)

Токовые характеристики вакуумных диодов квазипланарной конфигурации со взрывоэмиссионными катодами из различных материалов при длительности высоковольтного импульса в единицы наносекунд

Структура и свойства покрытия на поверхности образцов из никелида титана, полученного методом электронно-лучевого распыления

Эктоны
по: Месяц, Геннадий Андреевич 1936-
Публикация: (1994)

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
по: Родионов, Ю. А.
Публикация: (2022)

Основы теории реактивного движения методические указания к самостоятельной работе
Публикация: (2010)

Генерация ионов дейтерия в вакуумном дуговом разряде с композиционным газонасыщенным катодом и в дуге низкого давления

Duet, trio and quadro: vacuum ion-plasma devices designed for nitriding and deposition of superhard nanostructured coatings on steels and steel alloys

Вторичная эмиссия атомных частиц при бомбардировке тяжелых d-металлов ионами из азотной плазмы
по: Кузьмичев, Анатолий Иванович доктор техн. наук

Оборудование для плазменной обработки материалов изделий электронной техники (по данным отечественной и зарубежной печати за 1980-1987 гг.)
по: Таран, Владимир Маркович
Публикация: (1987)

Обзор литературы в области конструирования солнечных водонагревательных установок
по: Кузнецова, А. А.

Влияние снежного покрова на тепловую производительность поверхностей вакуумированных трубчатых коллекторов
по: Ерменова, М. Д

Введение в технологию материалов микроэлектроники. В 3 частях. Часть 3. Эпитаксиальный рост учебник для вузов
по: Александрова, О. А.
Публикация: (2023)

Структурно-фазовые превращения в пленках оксида галлия
по: Лыгденова, Туяна Зоригтоевна

Гидроструйные насосы и установки
по: Лямаев, Борис Федорович
Публикация: (1988)

Синтез тонкопленочных материалов и изучение их свойств учебно-методическое пособие : [для студентов IV и V курсов химического факультета (направление подготовки 04.04.01, 04.03.01 - Химия, профили подготовки - Химия твердого тела и химия материалов)
Публикация: (2014)

Физика и техника сверхвысокого вакуума сборник статей
Публикация: (1968)

Гидродинамика и тепломассообмен пленочных течений в полях массовых сил и их приложения монография
по: Шиляев, Михаил Иванович 1944-
Публикация: (2014)

Влияние импульсного аксиального магнитного поля на сильноточную дугу вакуумного выключателя
по: Шнайдер, Антон Витальевич

Вакуумная техника учебник для вузов по спец. "Электронное машиностроение"
по: Розанов, Леонид Николаевич
Публикация: (2007)

Оборудование полупроводникового производства [учебное пособие для студентов приборостроительных специальностей вузов]
по: Блинов, Иван Григорьевич
Публикация: (1986)

Справочник по вакуумной технике и технологиям
Публикация: (2011)

Пути повышения эффективности солнечных систем горячего водоснабжения
по: Трофименцев, А.

Получение дисперсных и тонкопленочных материалов на основе оксидов титана, кремния и хрома
по: Рогачева, Анастасия Олеговна

Конструирование и расчет вакуумных систем
по: Пипко, Анатолий Исаакович
Публикация: (1979)

Азотирование титана в тлеющем разряде с полым катодом
по: Ахмадеев, Юрий Халяфович

Вакуумная технология и оснастка Материалы международной конференции( г. Паневежис (Литва), 29-30 октября 1998)
Публикация: (1999)

Вакуум электрофизических установок и комплексов
по: Глазков, Анатолий Александрович
Публикация: (1985)

Процессы роста и синтеза полупроводниковых кристаллов и пленок [сборник докладов : в 2 ч.]
Публикация: (1975)

Разработка Института сильноточной электроники Сибирского отделения РАН в области вакуумных электронно-ионно-плазменных технологий

Физика металлических пленок размерные и структурные эффекты
по: Комник, Юрий Федорович
Публикация: (1979)

Физическое моделирование вторичного дугообразования в диапазоне давлений окружающей среды от атмосферного уровня до уровня вакуума

Плазменные технологии в строительстве
Публикация: (2005)