Физика и технология тонких пленок учебное пособие : [для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"]

Библиографическая информация
Главный автор:	Аверин, Игорь Александрович
Другие авторы:	Головяшкин, Алексей Николаевич, Печерская, Р. М. (Редактор)
Формат:	Книга
Язык:	Russian
Публикация:	Пенза Изд-во Пензенского гос. ун-та 2009
Предметы:	Тонкие пленки > Нанесение > Учебные издания для высших учебных заведений вакуумное напыление импульсное распыление ионное распыление плазменное распыление ионно-плазменное распыление ионное осаждение рост тонких пленок тонкие пленки многокомпонентных материалов поверхности твердых тел, адсорбция адсорбция физическая
Online-ссылка:	Перейти в каталог НБ ТГУ

Подробно о фондах из Научная библиотека ТГУ: Книгохранилище
Шифр:	1-998393к
	В каталоге библиотеки Зарезервировать

Похожие документы