Физика и технология тонких пленок учебное пособие : [для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"]

Bibliographic Details
Main Author:	Аверин, Игорь Александрович
Other Authors:	Головяшкин, Алексей Николаевич, Печерская, Р. М. (Editor)
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Пенза Изд-во Пензенского гос. ун-та 2009
Subjects:	Тонкие пленки > Нанесение > Учебные издания для высших учебных заведений вакуумное напыление импульсное распыление ионное распыление плазменное распыление ионно-плазменное распыление ионное осаждение рост тонких пленок тонкие пленки многокомпонентных материалов поверхности твердых тел, адсорбция адсорбция физическая
Online Access:	Перейти в каталог НБ ТГУ

Holdings details from Научная библиотека ТГУ: Книгохранилище
Call Number:	1-998393к
	Available Place a Hold

Similar Items