Физика и технология тонких пленок учебное пособие : [для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"]
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Пенза
Изд-во Пензенского гос. ун-та
2009
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог НБ ТГУ |