Лабораторный практикум по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"]
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва
МИЭТ
2011
|
| Series: | Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника"
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог НБ ТГУ |
Internet
Перейти в каталог НБ ТГУНаучная библиотека ТГУ: Книгохранилище
| Call Number: |
1-998700к |
|---|---|
| Available Place a Hold |