Характеристики тонких пленок Pt/SnO2:Sb в режиме импульсного нагрева при воздействии ряда восстановительных газов
Published in: | Девятая конференция "Арсенид галлия и полупроводниковые соединения группы III-V", 3-5 октября 2006 г., Томск, Россия : материалы конференции С. 504-507 |
---|---|
Other Authors: | , , , |
Format: | Book Chapter |
Language: | Russian |
Subjects: | |
Online Access: | Перейти в каталог НБ ТГУ |