Исследование структуры и морфологии поверхности GaAs(100) при вакуумном отжиге методами эллипсометрии и дифракции быстрых электронов
Published in: | Девятая конференция "Арсенид галлия и полупроводниковые соединения группы III-V", 3-5 октября 2006 г., Томск, Россия : материалы конференции С. 223-226 |
---|---|
Main Author: | |
Other Authors: | , |
Format: | Book Chapter |
Language: | Russian |
Subjects: | |
Online Access: | Перейти в каталог НБ ТГУ |