Анодные пленки Ga2O3. Влияние термического отжига на свойства пленок

Bibliographic Details
Published in:Физика и техника полупроводников Т. 46, вып. 2. С. 278-284
Corporate Authors: Томский государственный университет Радиофизический факультет Кафедра полупроводниковой электроники, Томский государственный университет Радиофизический факультет Научные подразделения РФФ, Томский государственный университет Сибирский физико-технический институт Научные подразделения СФТИ, Томский государственный университет Физический факультет Кафедра физики полупроводников
Other Authors: Зарубин, Андрей Николаевич, Найден, Евгений Петрович 1940-2015, Новиков, Владимир Александрович, Петрова, Юлианна Сергеевна, Толбанов, Олег Петрович, Тяжев, Антон Владимирович, Яскевич, Тамара Михайловна, Калыгина, Вера Михайловна
Format: Article
Language:Russian
Subjects:
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000431732
Перейти в каталог НБ ТГУ