Влияние режимов магнетронного осаждения на элементный состав и морфологические особенности роста покрытий системы Ti-Al-Si-Cu-N
| Published in: | Молодежная научная конференция Томского государственного университета, 2009 г. Вып. 2 Вып. 2 : Проблемы естествознания. С. 368-371 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Format: | Book Chapter |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог НБ ТГУ |