Свойства нанокристаллических и нанослойных твердых углеродных покрытий, полученных магнетронным распылением
| Published in: | Физика и химия высокоэнергетических систем : сборник материалов I Всероссийской конференции молодых ученых, 26-29 апреля 2005 г., Томск, Россия С. 289-296 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Format: | Book Chapter |
| Language: | Russian |
| Subjects: |