Voluminous high-density plasma generator based on high-current pulsed magnetron discharge

Bibliographic Details
Published in:	Russian physics journal Vol. 55, № 2. P. 195-201
Corporate Authors:	Томский государственный университет Физический факультет Кафедра физики плазмы, Томский государственный университет Физический факультет Научные подразделения ФФ
Other Authors:	Sochugov, Nikolay S., Zakharov, Alexander N., Oskirko, V. O., Semenov, Vladimir A., Semenyuk, N. S., Kozyrev, Andrey V.
Format:	Article
Language:	English
Subjects:	физика плазмы магнетронные распылительные системы магнетронные разряды плазменно-иммерсионная обработка статьи в журналах
Online Access:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000436741 Перейти в каталог НБ ТГУ

Similar Items