Bibliographic Details
| Published in: | Высокие технологии в промышленности России : (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники) : материалы XVII Международной научно-технической конференции (Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011, 8-10 сентября). Тонкие пленки в электронике : материалы XXIV Международного симпозиума (Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011, 8-10 сентября). Наноинженерия : материалы IV Международной научно-технической конференции (Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011, 8-10 сентября)
С. 86-94 |
|---|
| Other Authors: |
Войцеховский, Александр Васильевич,
Кульчицкий, Николай Александрович,
Мельников, Александр Александрович доктор физ.-мат. наук,
Несмелов, Сергей Николаевич |
|---|
| Format: | Book Chapter
|
|---|
| Language: | Russian |
|---|
| Subjects: |
|
|---|
| Online Access: | Перейти в каталог НБ ТГУ
|
|---|
