PHEMT-технология создания монолитных интегральных схем КВЧ-диапазона с проектной нормой от 100 нм
Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 55, № 8/2. С. 93-94 |
---|---|
Corporate Author: | |
Other Authors: | , , , |
Format: | Article |
Language: | Russian |
Subjects: | |
Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000448616 Перейти в каталог НБ ТГУ |