LEADER 01572nab a2200301 c 4500
001 vtls000448616
003 RU-ToGU
005 20241209170309.0
007 cr |
008 170612 2012 ru s c rus d
035 |a to000448616 
040 |a RU-ToGU  |b rus  |c RU-ToGU 
245 1 0 |a PHEMT-технология создания монолитных интегральных схем КВЧ-диапазона с проектной нормой от 100 нм  |c Г. И. Айзенштат, А. Ю. Ющенко, В. Г. Божков, А. И. Иващенко 
504 |a Библиогр.: 6 назв. 
653 |a интегральные схемы монолитные 
653 |a PHEMT-гетероструктуры 
653 |a затворы 
655 4 |a статьи в журналах 
700 1 |a Ющенко, Алексей Юрьевич 
700 1 |a Божков, Владимир Григорьевич 
700 1 |a Иващенко, Анна Ивановна 
700 1 |a Айзенштат, Геннадий Исаакович 
710 2 |a Томский государственный университет  |b Радиофизический факультет  |b Кафедра полупроводниковой электроники 
773 0 |t Известия высших учебных заведений. Физика  |d 2012  |g Т. 55, № 8/2. С. 93-94  |x 0021-3411  |w 0026-80960 
852 4 |a RU-ToGU 
856 7 |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000448616 
908 |a статья 
999 |c 331081  |d 331081