PHEMT-технология создания монолитных интегральных схем КВЧ-диапазона с проектной нормой от 100 нм
Опубликовано в: : | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 55, № 8/2. С. 93-94 |
---|---|
Соавтор: | Томский государственный университет Радиофизический факультет Кафедра полупроводниковой электроники |
Другие авторы: | Ющенко, Алексей Юрьевич, Божков, Владимир Григорьевич, Иващенко, Анна Ивановна, Айзенштат, Геннадий Исаакович |
Формат: | Статья в журнале |
Язык: | Russian |
Предметы: | |
Online-ссылка: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000448616 Перейти в каталог НБ ТГУ |
Похожие документы
-
Наногетероструктуры в сверхвысокочастотной полупроводниковой электронике [сборник статей]
Публикация: (2010) -
Исследование структурных особенностей монолитных пластин на основе никелида титана с целью создания пористо-монолитных конструкций
по: Артюхова, Надежда Викторовна -
Разработка высоковольтного импульсного драйвера для электрооптических затворов
по: Важинский, О. Т. -
Системы сборно-монолитных каркасов
по: Петрова, О. О. - Монолитные и квазимонолитные модули и устройства миллиметрового диапазона длин волн