Анодные пленки Ga2О3 в МДП-структурах на основе арсенида галлия

Bibliographic Details
Published in:Известия высших учебных заведений. Физика Т. 55, № 8/2. С. 71-74
Corporate Authors: Томский государственный университет Радиофизический факультет Кафедра полупроводниковой электроники, Томский государственный университет Радиофизический факультет Научные подразделения РФФ, Томский государственный университет Сибирский физико-технический институт Научные подразделения СФТИ
Other Authors: Вишникина, Вера Валерьевна, Зарубин, Андрей Николаевич, Петрова, Юлианна Сергеевна, Толбанов, Олег Петрович, Тяжев, Антон Владимирович, Яскевич, Тамара Михайловна, Калыгина, Вера Михайловна
Format: Article
Language:Russian
Subjects:
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000448317
Перейти в каталог НБ ТГУ
LEADER 02580nab a2200409 c 4500
001 vtls000448317
003 RU-ToGU
005 20240723104131.0
007 cr |
008 170612 2012 ru s c rus d
035 |a to000448317 
039 9 |a 201706122156  |b 100  |c 201310040925  |d cat202  |c 201304181129  |d VLOAD  |c 201304181015  |d cat202  |y 201304171728  |z Александр Эльверович Гилязов 
040 |a RU-ToGU  |b rus  |c RU-ToGU 
245 1 0 |a Анодные пленки Ga2О3 в МДП-структурах на основе арсенида галлия  |c В. М. Калыгина, В. В. Вишникина, А. Н. Зарубин и др. 
504 |a Библиогр.: 3 назв. 
653 |a арсенид галлия 
653 |a МДП-структуры 
653 |a кислородная плазма 
653 |a термический отжиг 
653 |a анодные пленки 
655 4 |a статьи в журналах  |9 879358 
700 1 |a Вишникина, Вера Валерьевна  |9 353297 
700 1 |a Зарубин, Андрей Николаевич  |9 86743 
700 1 |a Петрова, Юлианна Сергеевна  |9 89199 
700 1 |a Толбанов, Олег Петрович  |9 67379 
700 1 |a Тяжев, Антон Владимирович  |9 82286 
700 1 |a Яскевич, Тамара Михайловна  |9 89074 
700 1 |a Калыгина, Вера Михайловна  |9 74707 
710 2 |a Томский государственный университет  |b Радиофизический факультет  |b Кафедра полупроводниковой электроники  |9 85922 
710 2 |a Томский государственный университет  |b Радиофизический факультет  |b Научные подразделения РФФ  |9 107063 
710 2 |a Томский государственный университет  |b Сибирский физико-технический институт  |b Научные подразделения СФТИ  |9 106941 
773 0 |t Известия высших учебных заведений. Физика  |d 2012  |g Т. 55, № 8/2. С. 71-74  |x 0021-3411  |w 0026-80960 
852 4 |a RU-ToGU 
856 7 |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000448317 
856 |y Перейти в каталог НБ ТГУ  |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=331494 
908 |a статья 
999 |c 331494  |d 331494