Исследование лазерного отстрела пленки GaN от эпитаксиальной подложки излучением эксимерного KrF-лазера

Исследование лазерного отстрела пленки GaN от эпитаксиальной подложки излучением эксимерного KrF-лазера

Bibliographic Details
Published in:Известия высших учебных заведений. Физика Т. 55, № 9/2. С. 122-124
Corporate Author: Томский государственный университет Радиофизический факультет Кафедра оптико-электронных систем и дистанционного зондирования
Other Authors: Левицкий, Михаил Ефимович, Симонова, Галина Владимировна, Соковиков, Владимир Григорьевич, Коняев, Петр Алексеевич
Format: Article
Language:Russian
Subjects:
светодиоды
нитрид галлия
технология "laser lift-off"
эксимерные лазеры
статьи в журналах
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000449180
Перейти в каталог НБ ТГУ

Internet

http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000449180
Перейти в каталог НБ ТГУ

Similar Items