Исследование лазерного отстрела пленки GaN от эпитаксиальной подложки излучением эксимерного KrF-лазера
Опубликовано в: : | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 55, № 9/2. С. 122-124 |
---|---|
Соавтор: | |
Другие авторы: | , , , |
Формат: | Статья в журнале |
Язык: | Russian |
Предметы: | |
Online-ссылка: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000449180 Перейти в каталог НБ ТГУ |