Пленки оксида галлия, полученные методом термического напыления

Библиографическая информация
Опубликовано в: :Физика и техника полупроводников Т. 47, вып. 5. С. 598-603
Корпоративные авторы: Томский государственный университет Радиофизический факультет Кафедра полупроводниковой электроники, Томский государственный университет Сибирский физико-технический институт Научные подразделения СФТИ, Томский государственный университет Радиофизический факультет Публикации студентов и аспирантов РФФ
Другие авторы: Зарубин, Андрей Николаевич, Новиков, Владимир Александрович, Петрова, Юлианна Сергеевна, Толбанов, Олег Петрович, Тяжев, Антон Владимирович, Цупий, Светлана Юрьевна, Яскевич, Тамара Михайловна, Калыгина, Вера Михайловна
Формат: Статья в журнале
Язык:Russian
Предметы:
Online-ссылка:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000460041
Перейти в каталог НБ ТГУ