Пленки оксида галлия, полученные методом термического напыления

Bibliographic Details
Published in:Физика и техника полупроводников Т. 47, вып. 5. С. 598-603
Corporate Authors: Томский государственный университет Радиофизический факультет Кафедра полупроводниковой электроники, Томский государственный университет Сибирский физико-технический институт Научные подразделения СФТИ, Томский государственный университет Радиофизический факультет Публикации студентов и аспирантов РФФ
Other Authors: Зарубин, Андрей Николаевич, Новиков, Владимир Александрович, Петрова, Юлианна Сергеевна, Толбанов, Олег Петрович, Тяжев, Антон Владимирович, Цупий, Светлана Юрьевна, Яскевич, Тамара Михайловна, Калыгина, Вера Михайловна
Format: Article
Language:Russian
Subjects:
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000460041
Перейти в каталог НБ ТГУ
LEADER 02596nab a2200409 c 4500
001 vtls000460041
003 RU-ToGU
005 20240723104135.0
007 cr |
008 170612 2013 ru s c rus d
035 |a to000460041 
039 9 |a 201706122210  |b 100  |c 201310040940  |d VLOAD  |c 201310040841  |d cat202  |y 201310031338  |z Александр Эльверович Гилязов 
040 |a RU-ToGU  |b rus  |c RU-ToGU 
245 1 0 |a Пленки оксида галлия, полученные методом термического напыления  |c В. М. Калыгина, А. Н. Зарубин, В. А. Новиков и др. 
504 |a Библиогр.: 17 назв. 
653 |a оксид галлия 
653 |a тонкие пленки 
653 |a термическое напыление 
653 |a МДП-структуры 
655 4 |a статьи в журналах  |9 879358 
700 1 |a Зарубин, Андрей Николаевич  |9 86743 
700 1 |a Новиков, Владимир Александрович  |9 78483 
700 1 |a Петрова, Юлианна Сергеевна  |9 89199 
700 1 |a Толбанов, Олег Петрович  |9 67379 
700 1 |a Тяжев, Антон Владимирович  |9 82286 
700 1 |a Цупий, Светлана Юрьевна  |9 298086 
700 1 |a Яскевич, Тамара Михайловна  |9 89074 
700 1 |a Калыгина, Вера Михайловна  |9 74707 
710 2 |a Томский государственный университет  |b Радиофизический факультет  |b Кафедра полупроводниковой электроники  |9 85922 
710 2 |a Томский государственный университет  |b Сибирский физико-технический институт  |b Научные подразделения СФТИ  |9 106941 
710 2 |a Томский государственный университет  |b Радиофизический факультет  |b Публикации студентов и аспирантов РФФ  |9 114451 
773 0 |t Физика и техника полупроводников  |d 2013  |g Т. 47, вып. 5. С. 598-603  |x 0015-3222  |w 0028-44860 
852 4 |a RU-ToGU 
856 7 |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000460041 
856 |y Перейти в каталог НБ ТГУ  |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=341966 
908 |a статья 
999 |c 341966  |d 341966