Влияние отжига в аргоне на свойства пленок оксида галлия, полученных термическим напылением

Bibliographic Details
Published in:Физика и техника полупроводников Т. 47, № 8. С. 1137-1143
Corporate Authors: Томский государственный университет Радиофизический факультет Кафедра полупроводниковой электроники, Томский государственный университет Радиофизический факультет Публикации студентов и аспирантов РФФ, Томский государственный университет Сибирский физико-технический институт Научные подразделения СФТИ
Other Authors: Вишникина, Вера Валерьевна, Зарубин, Андрей Николаевич, Новиков, Владимир Александрович, Петрова, Юлианна Сергеевна, Толбанов, Олег Петрович, Тяжев, Антон Владимирович, Цупий, Светлана Юрьевна, Яскевич, Тамара Михайловна, Калыгина, Вера Михайловна
Format: Article
Language:Russian
Subjects:
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000465415
Перейти в каталог НБ ТГУ