Исследование электрических характеристик структур TiO2-Si

Исследование электрических характеристик структур TiO2-Si

Bibliographic Details
Published in:Известия высших учебных заведений. Физика Т. 56, № 8/3. С. 147-149
Corporate Authors: Томский государственный университет Радиофизический факультет Публикации студентов и аспирантов РФФ, Томский государственный университет Радиофизический факультет Кафедра полупроводниковой электроники, Томский государственный университет Физический факультет Кафедра физики полупроводников, Томский государственный университет Радиофизический факультет Научные подразделения РФФ, Томский государственный университет Сибирский физико-технический институт Научные подразделения СФТИ
Other Authors: Зарубин, Андрей Николаевич, Калыгина, Вера Михайловна, Новиков, Вадим Александрович, Петрова, Юлианна Сергеевна, Прудаев, Илья Анатольевич, Толбанов, Олег Петрович, Черников, Евгений Викторович, Яскевич, Тамара Михайловна, Цупий, Светлана Юрьевна
Format: Article
Language:Russian
Subjects:
оксиды титана
кремний
кислородная плазма
термический отжиг
вольт-фарадные характеристики
вольт-сименсные характеристики
диэлектрическая проницаемость
статьи в журналах
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000468359

Similar Items

Similar Items