О накоплении примеси в адсорбционном слое в процессе легирования при молекулярно-лучевой эпитаксии
| Опубликовано в: : | Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники № 2. С. 4-10 |
|---|---|
| Главный автор: | |
| Соавтор: | |
| Формат: | Статья в журнале |
| Язык: | Russian |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000469751 Перейти в каталог НБ ТГУ |