Влияние температуры отжига на спектры пропускания пленок GaxOy, полученных методом термического испарения

Bibliographic Details
Published in:Известия высших учебных заведений. Физика Т. 56, № 8/3. С. 153-155
Corporate Authors: Томский государственный университет Радиофизический факультет Кафедра полупроводниковой электроники, Томский государственный университет Сибирский физико-технический институт Научные подразделения СФТИ, Томский государственный университет Радиофизический факультет Публикации студентов и аспирантов РФФ
Other Authors: Будницкий, Давыд Львович, Калыгина, Вера Михайловна, Кожинова, Нина Ивановна, Прудаев, Илья Анатольевич, Егорова, Ирина Максимовна, Яскевич, Тамара Михайловна
Format: Article
Language:Russian
Subjects:
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000468361