Влияние температуры отжига на спектры пропускания пленок GaxOy, полученных методом термического испарения

Bibliographic Details
Published in:Известия высших учебных заведений. Физика Т. 56, № 8/3. С. 153-155
Corporate Authors: Томский государственный университет Радиофизический факультет Кафедра полупроводниковой электроники, Томский государственный университет Сибирский физико-технический институт Научные подразделения СФТИ, Томский государственный университет Радиофизический факультет Публикации студентов и аспирантов РФФ
Other Authors: Будницкий, Давыд Львович, Калыгина, Вера Михайловна, Кожинова, Нина Ивановна, Прудаев, Илья Анатольевич, Егорова, Ирина Максимовна, Яскевич, Тамара Михайловна
Format: Article
Language:Russian
Subjects:
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000468361
LEADER 02278nab a2200385 c 4500
001 vtls000468361
003 RU-ToGU
005 20241023122717.0
007 cr |
008 170612 2013 ru s c rus d
035 |a to000468361 
040 |a RU-ToGU  |b rus  |c RU-ToGU 
245 1 0 |a Влияние температуры отжига на спектры пропускания пленок GaxOy, полученных методом термического испарения  |c Т. М. Яскевич, Д. Л. Будницкий, В. М. Калыгина и др. 
504 |a Библиогр.: 6 назв. 
653 |a тонкие пленки 
653 |a оксид галлия 
653 |a термический отжиг 
653 |a оптические свойства 
653 |a ультрафиолетовый диапазон 
653 |a коэффициенты пропускания 
655 4 |a статьи в журналах 
700 1 |a Будницкий, Давыд Львович 
700 1 |a Калыгина, Вера Михайловна 
700 1 |a Кожинова, Нина Ивановна 
700 1 |a Прудаев, Илья Анатольевич 
700 1 |a Егорова, Ирина Максимовна 
700 1 |a Яскевич, Тамара Михайловна 
710 2 |a Томский государственный университет  |b Радиофизический факультет  |b Кафедра полупроводниковой электроники 
710 2 |a Томский государственный университет  |b Сибирский физико-технический институт  |b Научные подразделения СФТИ 
710 2 |a Томский государственный университет  |b Радиофизический факультет  |b Публикации студентов и аспирантов РФФ 
773 0 |t Известия высших учебных заведений. Физика  |d 2013  |g Т. 56, № 8/3. С. 153-155  |x 0021-3411  |w 0026-80960 
852 4 |a RU-ToGU 
856 7 |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000468361 
908 |a статья 
999 |c 346861  |d 346861