Способ безрезистного травления пленок диоксида кремния в «окнах» фотолитографического рисунка
| Опубликовано в: : | Полифункциональные химические материалы и технологии : материалы Всероссийской с международным участием научной конференции, Томск, 21-23 ноября 2013 г. С. 16-17 |
|---|---|
| Главный автор: | |
| Корпоративные авторы: | , |
| Другие авторы: | |
| Формат: | Статья в сборнике |
| Язык: | Russian |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000483264 Перейти в каталог НБ ТГУ |