Способ безрезистного травления пленок диоксида кремния в «окнах» фотолитографического рисунка
Published in: | Полифункциональные химические материалы и технологии : материалы Всероссийской с международным участием научной конференции, Томск, 21-23 ноября 2013 г. С. 16-17 |
---|---|
Main Author: | |
Corporate Authors: | , |
Other Authors: | |
Format: | Book Chapter |
Language: | Russian |
Subjects: | |
Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000483264 Перейти в каталог НБ ТГУ |
ISBN: | 9785946214292 |
---|