Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники

Bibliographic Details
Other Authors:	Смирнова, Тамара Павловна (Editor), Кузнецов, Федор Андреевич 1932-2014, Воронков, Михаил Григорьевич, Борисов, В. О.
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Новосибирск Издательство СО РАН 2013
Series:	Интеграционные проекты СО РАН
Subjects:	химическое осаждение пленок химическое осаждение структур наноэлектронные материалы металлокомплексы летучие прекурсоры пленки карбонитрида кремния газовые фазы CVD-диаграммы термодинамическое моделирование металлические пленки оксидные пленки двухкомпонентные оксидные пленки трехкомпонентные карбонитрид кремния химические связи фазовый состав пленок карбонитрид бора химический состав пленок оже-спектроскопия рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия пленка-подложка структурный анализ
Online Access:	Перейти в каталог НБ ТГУ

Holdings details from Научная библиотека ТГУ: Книгохранилище
Call Number:	2-060215
	Available Place a Hold

Similar Items