О природе трещин на примере монокристаллического кремния, подвергнутого анодному травлению

Похожие документы

• Способ безрезистного травления пленок диоксида кремния в «окнах» фотолитографического рисунка
  по: Гудымович, Елена Никифоровна
• Изучение развития анодного растворения гетерофазного электрода путем анализа изображений поверхности
  по: Тарасова, Н. В.
• Формирование пористого кремния методами металл-стимулированного химического травления и электрохимического травления
  по: Круковский, Константин Витальевич
• Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
  по: Родионов Ю. А.
  Публикация: (2023)
• Тезисы докладов Второй Российской конференции по материаловедению и физико-химическим основам технологий получения легированных кристаллов кремния ("Кремний-2000"), 9-11 февраля 2000 г., Московский государственный институт стали и сплавов (технологический университет)
  Публикация: (2000)