О природе трещин на примере монокристаллического кремния, подвергнутого анодному травлению

Bibliographic Details
Published in:	Физика и техника полупроводников Т. 48, вып. 8. С. 1117-1122
Corporate Author:	Томский государственный университет Научное управление Лаборатории НУ
Other Authors:	Герасименко, Николай Николаевич, Старков, В. В., Медетов, Нурлан Амирович, Токмолдин, Серекбол Жарылгапович, Гостева, Е. А., Тыныштыкбаев, К. Б.
Format:	Article
Language:	Russian
Subjects:	анодное травление кремния кремний трещины статьи в журналах
Online Access:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000495288 Перейти в каталог НБ ТГУ

Description
Bibliography:	Библиогр.: 29 назв.
ISSN:	0015-3222

Similar Items