О природе трещин на примере монокристаллического кремния, подвергнутого анодному травлению

О природе трещин на примере монокристаллического кремния, подвергнутого анодному травлению

Библиографическая информация
Опубликовано в: :	Физика и техника полупроводников Т. 48, вып. 8. С. 1117-1122
Соавтор:	Томский государственный университет Научное управление Лаборатории НУ
Другие авторы:	Герасименко, Николай Николаевич, Старков, В. В., Медетов, Нурлан Амирович, Токмолдин, Серекбол Жарылгапович, Гостева, Е. А., Тыныштыкбаев, К. Б.
Формат:	Статья в журнале
Язык:	Russian
Предметы:	анодное травление кремния кремний трещины статьи в журналах
Online-ссылка:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000495288 Перейти в каталог НБ ТГУ

Похожие документы

Способ безрезистного травления пленок диоксида кремния в «окнах» фотолитографического рисунка
по: Гудымович, Елена Никифоровна

Изучение развития анодного растворения гетерофазного электрода путем анализа изображений поверхности
по: Тарасова, Н. В.

Формирование пористого кремния методами металл-стимулированного химического травления и электрохимического травления
по: Круковский, Константин Витальевич

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
по: Родионов Ю. А.
Публикация: (2023)

Тезисы докладов Второй Российской конференции по материаловедению и физико-химическим основам технологий получения легированных кристаллов кремния ("Кремний-2000"), 9-11 февраля 2000 г., Московский государственный институт стали и сплавов (технологический университет)
Публикация: (2000)

Теплофизика кремния
по: Игамбердыев, Хусан Таджиевич
Публикация: (1990)

Учебное пособие по дисциплине "Технология наносистем" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника]
по: Тимошенков, Сергей Петрович 1957-
Публикация: (2011)

Карбид кремния на кремнии (110): структура поверхности и механизмы эпитаксиального роста

Особенности получения и области применения пористого кремния в электронной технике (по данным отечественной и зарубежной печати за 1970-1988 гг.)
по: Николаев, Константин Петрович
Публикация: (1989)

Свойства нанопорошков кремния, полученных химико-термическим методом

Исследование процесса газофазного травления кремния дифторидом ксенона
по: Соколова, О. В.

Численное моделирование радиального плазмохимического реактора
по: Григорьев, Юрий Николаевич

Технология очистки нанопорошка кремния для солнечной энергетики
по: Мельник, Г. И.

Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников
Публикация: (1982)

Развитие модели плазмохимического травления на основе численного моделирования ВЧ-разряда
по: Григорьев, Юрий Николаевич

Влияние характеристик ВЧ-разряда на процесс плазмохимического травления кремния в CF4/O2
по: Горобчук, А. Г.

Кремний 2016 XI конференция и X школа молодых ученых и специалистов по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе, 12-15 сентября 2016 г., Новосибирск : тезисы докладов
Публикация: (2016)

Получение меза-структур методом реактивного ионно-плазменного травления
по: Ходыревская, Ю. И.

Исследование фоточувствительности к рентгеновскому излучению сенсоров на основе карбида кремния и монокристаллического сапфира

Physicochemical investigation of nanopowders prepared by laser ablation of crystalline silicon in water

Моделирование электронных свойств кремниевых наночастиц с плотной атомной упаковкой
по: Филиппов, Владимир Владимирович физик

Нанокремний: свойства, получение, применение, методы исследования и контроля
по: Ищенко, Анатолий Александрович 1948-
Публикация: (2012)

Нанокремний: свойства, получение, применение, методы исследования и контроля
по: Ищенко, Анатолий Александрович 1948-
Публикация: (2011)

Рост квантовых точек германия на окисленной поверхности кремния

Кремний и его соединения методические указания к лабораторной работе
Публикация: (2008)

Нелинейная оптика кремния и кремниевых наноструктур
по: Акципетров, Олег Андреевич
Публикация: (2012)

Silicon isotope analyses of soil and plant reference materials: An inter-comparison of seven laboratories

Получение наночастиц диоксидов кремния и титана в полиэтиленовой матрице
по: Горковенко, М. Ю.

Исследование дефектов структуры монокристаллического карбида кремния прямыми физическими методами монография
по: Окунев, Алексей Олегович
Публикация: (2006)

Полевые методы изучения трещин в горных породах
по: Михайлов, Александр Евгеньевич
Публикация: (1956)

Лечение анальных трещин: методические рекомендации/
Публикация: (1979)

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях [учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"]
по: Галперин, Вячеслав Александрович
Публикация: (2010)

Моноатомные ступени на поверхности кремния
по: Латышев, Александр Васильевич
Публикация: (2006)

Многоуровневая иерархическая структура силумина, подвергнутого многоцикловому поверхностному легированию

Мир кремния
по: Рохов, Юджин Джордж
Публикация: (1990)

Некоторые особенности развития усталостных трещин в верхней зоне стенки сварных подкрановых балок
по: Васюта, Б. Н.

Акустическая микроскопия пористого кремния
по: Бибик, Е. А.

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий в 2 т.
Публикация: (2010)

Фототравление поверхности оксида кремния
по: Митяшин, М. О.

Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
по: Данилин, Борис Степанович
Публикация: (1987)