Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов

Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов

Bibliographic Details
Main Author:	Красников, Геннадий Яковлевич 1958-
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Москва Техносфера 2011
Edition:	Изд. 2-е, испр.
Series:	Мир электроники
Subjects:	транзисторы МОП-транзисторы субмикронные МОП-транзисторы, физические процессы МОП-транзисторы, масштабирование МОП- транзисторные структуры диэлектрики подзатворные, формирование диэлектрические слои окислы подзатворные нитрирование термическое осаждение термохимическое осаждение струйное сток-истоковые области МОПТ, формирование сток-истоковые области МОПТ, конструкции каналы МОПТ, формирование легированные слои, формирование затворы МОПТ, формирование затворы поликремниевые затворы силицидные затворы полицидные затворы полиметаллические затворы поликристаллические затворы металлические МОП-транзисторы субмикронные, надежность МОП-транзисторы субмикронные, дефекты деградация подзатворного диэлектрика влияние технологических процессов
Online Access:	Перейти в каталог НБ ТГУ

Internet

Перейти в каталог НБ ТГУ

Научная библиотека ТГУ: Книгохранилище

Holdings details from Научная библиотека ТГУ: Книгохранилище
Call Number:	2-030895
	Available Place a Hold

Научная библиотека ТГУ: Факультетская библиотека

Holdings details from Научная библиотека ТГУ: Факультетская библиотека
Call Number:	621.3 К782
	Available Place a Hold