Влияние модифицирования поверхности InP композициями оксидов (V2O5+PbO) и (NiO+PbO) разного состава на процесс термооксидирования полупроводника и характеристики формируемых оксидных пленок
Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 57, № 12. С. 68-72 |
---|---|
Corporate Authors: | Томский государственный университет Химический факультет Научные подразделения ХФ, Томский государственный университет Химический факультет Кафедра неорганической химии |
Other Authors: | Миттова, Ирина Яковлевна, Заболотская, Анастасия Владимировна, Самсонов, Алексей Алексеевич, Сладкопевцев, Борис Владимирович, Третьяков, Никита Николаевич, Томина, Елена Викторовна, Козик, Владимир Васильевич 1947-2021 |
Format: | Article |
Language: | Russian |
Subjects: | |
Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000501782 Перейти в каталог НБ ТГУ |
Similar Items
- Фазовый состав и морфология поверхности диэлектрических и полупроводниковых пленок, сформированных термооксидированием гетероструктур (V2O5+PbO)/InP и (NiO+PbO)/InP
- Определение толщины и фазового состава пленок, синтезированных хемостимулированным термооксидированием InP под воздействием композиции оксидов V2O5+MnO 2 разного состава
- Особенности кинетики и механизма формирования пленок при оксидировании гетероструктур V2O5/InP, сформированных методами реактивного магнетронного распыления и электрического взрыва проводника
- Размерные эффекты воздействия композиций (PbO+V2O5) на термооксидирование GaAs
-
Исследование кинетики восстановления окислов в многокомпонентных оксидных расплавах PbO-ZnO-FeO-CaO-SiO2 углеродом диссертация на соискание ученой степени кандидата химических наук : 02.00.04
by: Лямина, Мария Алексеева
Published: (1979)