Генерация низкотемпературной плазмы дуговых разрядов низкого давления для синтеза износостойких нитридных покрытий

Bibliographic Details
Published in:	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 57, № 11/3. С. 87-92
Corporate Authors:	Томский государственный университет Физический факультет Кафедра физики плазмы, Томский государственный университет Физический факультет Научные подразделения ФФ
Other Authors:	Крысина, Ольга Васильевна, Лопатин, Илья Викторович, Шугуров, Владимир Викторович, Коваль, Николай Николаевич
Format:	Article
Language:	Russian
Subjects:	дуговой разряд газометаллическая плазма плазма вакуумно-дуговое осаждение плазменное ассистирование нитридные покрытия статьи в журналах
Online Access:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000502137

Similar Items