Технология литографических процессов [учебное пособие для студентов 3 и 4 курсов, обучающихся по специальности 210100 "Электронное машиностроение"]
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва
Московский государственный институт электроники и математики
2011
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://sun.tsu.ru/limit/2016/000551156/000551156.pdf Перейти в каталог НБ ТГУ |