Технология литографических процессов [учебное пособие для студентов 3 и 4 курсов, обучающихся по специальности 210100 "Электронное машиностроение"]

Библиографическая информация
Главный автор:	Лапшинов, Борис Алексеевич
Формат:	Книга
Язык:	Russian
Публикация:	Москва Московский государственный институт электроники и математики 2011
Предметы:	#
Online-ссылка:	http://sun.tsu.ru/limit/2016/000551156/000551156.pdf Перейти в каталог НБ ТГУ


LEADER	01607nam a2200301 c 4500
001	vtls000551156
003	RU-ToGU
005	20210922073309.0
008	161117s ru 00 0 rus d
035			\|a to000551156
039		9	\|a 201611281835 \|c 201611211136 \|d cat20 \|c 201611211044 \|d cat25 \|c 201611171002 \|d cat25 \|y 201611170959 \|z Александр Эльверович Гилязов
040			\|a RU-ToGU \|b rus \|c RU-ToGU
080			\|a #
084			\|a # \|2 rubbk
100	1		\|a Лапшинов, Борис Алексеевич \|9 428850
245	1	0	\|a Технология литографических процессов \|h Электронный ресурс \|b [учебное пособие для студентов 3 и 4 курсов, обучающихся по специальности 210100 "Электронное машиностроение"] \|c Б. А. Лапшинов ; [ред. Е. С. Резникова] ; Моск. гос. ин-т электроники и математики (техн. ун-т)"
260			\|a Москва \|b Московский государственный институт электроники и математики \|c 2011 \|9 743473
300			\|a 1 онлайн-ресурс (98 с.) \|b ил.
504			\|a Библиогр.: с. 93-96
653			\|a #
653			\|a #
653			\|a #
653			\|a #
653			\|a #
852	4		\|a RU-ToGU \|n ru
856	7		\|u http://sun.tsu.ru/limit/2016/000551156/000551156.pdf
856			\|y Перейти в каталог НБ ТГУ \|u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=374667
999			\|c 374667 \|d 374667

Похожие документы