Технология литографических процессов [учебное пособие для студентов 3 и 4 курсов, обучающихся по специальности 210100 "Электронное машиностроение"]

Библиографическая информация
Главный автор: Лапшинов, Борис Алексеевич
Формат: Книга
Язык:Russian
Публикация: Москва Московский государственный институт электроники и математики 2011
Предметы:
#
Online-ссылка:http://sun.tsu.ru/limit/2016/000551156/000551156.pdf
Перейти в каталог НБ ТГУ

Похожие документы